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激光热处理是
1、利用高功率密度的激光束加热金属工件表面,达到表面改性(即提高工件表面硬度、耐磨性和耐腐蚀性等)的热处理,激光東可根据婴求进行局部选择性硬化处理,工件应力和变形小。这项技术在汽车工业中应用广泛,如缸套、曲轴、活塞环,换向器、齿轮等零部件的激光热处理,在航空航天,机床行业和机械行业也应用泛。我国的激光热处理应用远比国外广泛得多,目前使用的激光器以YAG激光器、CO2激光器为主。
2、激光热处理可以对金属表面实现相变硬化(或称表面淬火、表面非晶化、表面重熔淬火)、表面合金化等表面改性处理,产生大表面淬火达不到的表面成分和组织性能。激光相变硬化是激光热处理中研究较早、较多、应用较广的工艺,适用于大多数材料和不同形状零件的不同部位,可提高零件的耐磨性和疲劳强度。经激光热处理后,铸铁表面硬度可以达到60HRC以上,中碳及高联钢表面硬度可达7CHRC以上,提高耐磨性、附蚀性、抗氧化性等,延长工件的使用寿命。
3、激光退火技术是半导体加工的一种工艺,效果比常规热处理退火好得多。激光退火后,杂质的替位率可达到98%~99%,可使多晶硅的电阻率降低40%-50%,可大大提高集成电路的集成度,使电路元件间的间得减小到0.5μm
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